MEMS elemek precíziós lézeres megmunkálása

Kerkai Ádám (2021) MEMS elemek precíziós lézeres megmunkálása. Mérnöki Kar.

PDF Kerkai_Ádám_szakdolgozat_2021-2022_1._félév.pdf Hozzáférés joga: Available at the computers of the University Download (3MB)

Abstract

Szakdolgozatomban, a kiírásban rögzítetteknek megfelelően MEMS elemek precíziós lézeres megmunkálásának lehetőségét vizsgáltam. Az elvégzett munka segítségével az érintett két terület, a lézertechnika valamint, a mikroelektromechanikai rendszerek, jellemző megoldásai és eszközei közötti kapcsolat megteremtése volt a célom. A dolgozat első részében a MEMS technológiák rövid bemutatását követően azok legelterjedtebb gyártástechnológiai megoldásait részleteztem. A másik érintett tudományterület, a lézertechnika fejlődését valamint a kutatási feladat megvalósítása során használt szállézerek működését ismertettem. A tényleges kutatási feladat során felhasznált eszközök és berendezések és bemutatása során az egyes lézerparaméterek megmunkálási eredményre gyakorolt hatását vizsgáltam, majd a kiértékelést követően optimálisnak ítélt paraméterek alkalmazásával az arany vékonyréteggel ellátott mintadarabokon hoztam létre felületi elektródákat. A szakdolgozat elkészítése során az elvégzett munkáról és az elért eredményekről számos mikroszkópi képet készítettem. Ezeket a dolgozat egységes képének megtartása érdekében annak végén, a mellékletek között helyezem el.

Institution

Pannon Egyetem

Kar

Mérnöki Kar

Department

Mechatronikai Képzési és Kutatási Intézet

Szak

mechatronikai mérnök

Level of instruction

BSc course

Supervisors

Item Type:	Thesis
Uncontrolled Keywords:	MEMS - mikroelektronikai rendszerek, lézer technológia, abláció, mikroelektróda, maratás, megmunkálás
Depositing User:	Users 5 not found.
Date Deposited:	01 Aug 2023 13:42
Last Modified:	01 Aug 2023 13:42

Actions (login required)

View Item